產品目錄
真空鍍膜系統 > 單腔鍍膜系統 |PRODUCTS
| 單腔濺鍍系統 |
規格
1．2"~6"濺射源
2．極限真空度：10-7 Torr
3．APC自動控壓系統
4．質量流量控制器
5．DC/DC PULSE/HIPIMS/MF/RF/電源供應器
6．RF/DC 偏壓
7．基座旋轉加熱系統
2．極限真空度：10-7 Torr
3．APC自動控壓系統
4．質量流量控制器
5．DC/DC PULSE/HIPIMS/MF/RF/電源供應器
6．RF/DC 偏壓
7．基座旋轉加熱系統