產品目錄
真空鍍膜系統 > 連續式鍍膜系統 |PRODUCTS
| 連續式蒸濺鍍系統 |
規格
1．方形濺射源
2．極限真空度：10-7 Torr
3．APC自動控壓系統
4．質量流量控制器
5．DC/DC PULSE/HIPIMS/MF/RF/電源供應器
6．ION SOURCE CLEAN SYSTEM 離子轟擊系統
7．OES監測系統
8．E-BEAM
9．高真空台車傳送系統
2．極限真空度：10-7 Torr
3．APC自動控壓系統
4．質量流量控制器
5．DC/DC PULSE/HIPIMS/MF/RF/電源供應器
6．ION SOURCE CLEAN SYSTEM 離子轟擊系統
7．OES監測系統
8．E-BEAM
9．高真空台車傳送系統